YX-5D/5DA硅单晶棒射线定向仪

用途：该仪器专门用硅单晶棒定向测量，与我公司生产的YX-5Z/6Z及多线切割设备配套使用，最大特点是，测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角，X和Y值，并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。

结构：该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。

计算软件采用国际通常算法，以度为单位，显示最小精度0.001度，测量精度±0.008度（±30′），能够测量直径3～8英寸，长450㎜，测量晶面为111、100等。

型号： YX-5D 为双测角仪，一边定向计算，一边测片（8英寸）。

YX-5DA为单测角仪，定向计算。

主要指标：项目名称               参数

晶棒直径             3～8英寸

晶棒长度               450㎜

测量晶面              111、100

定向精度          0.008度（±30′）

最小读数              0.001度

射线窗口           电磁脚踏光闸